産品時間(jiān):2025-12-01
mf4001廣東微(wēi)小口徑氣體質量(liang)流量計是專門爲(wei)各類小流量氣體(ti)的🛀🏻測量和過程控(kong)制而設計的。這一(yi)系列傳感🚩器均采(cai)用本公司自主研(yan)發的微機電系統(tong)(MEMS)流量傳感芯片來(lai)制作,适⭐用于各✊類(lèi)清潔❗氣體。*的封裝(zhuang)技術使之可用于(yú)各類管徑,成本低(dī)、易安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償,可替(tì)代容積式或壓差(chà)式的傳統流❗量傳(chuan)感器。
mf4001廣東微小口徑氣(qì)體質量流量計
産品特點:
-
傳感器靈敏度高(gāo)
,
有極小的始(shi)動流量
-
傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhi)量流量計量
,
無需溫度壓力補(bǔ)償
,
保證了傳(chuán)
-
感器的高精(jīng)度計量
-
在單(dan)個芯片上實現了(le)多傳感器集成
,
使傳感器的量(liang)程比大大提高
-
傳感器的零點(dian)穩定度高
-
全(quán)量程高穩定性
-
全量程高精确(què)度和優良的重複(fu)性
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低功耗
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低壓損
-
響(xiǎng)應時間快
mf4001廣東微(wei)小口徑氣體質量(liang)流量計 機械(xiè)尺寸:

主(zhǔ)要參數:
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複(fú)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiǎng)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性,RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(ya)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工(gōng)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH(無結冰(bing)、無凝露) |
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機械接口(kou) |
可拆式軟管接頭(tou) |
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校準方式 |
空氣(或(huò)其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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