産品(pǐn)簡介:
FS4001系列實驗室(shì)氣體流量傳感器(qi) 是專門爲各(gè)類小流量氣體的(de)測量和過程控制(zhì)而設計的。這一系(xi)列傳感器均采用(yong)本公司自主研發(fā)的微機電系統❗( MEMS )流量傳感芯片(pian)來制作。
FS4001系列實驗(yan)室氣體流量傳感(gan)器 适用于各(ge)類清潔氣體。*的封(feng)裝技術使之可用(yong)于各類管徑,成🏃♀️本(běn)低、易安裝、不需要(yào)溫度壓力補償,可(kě)替代容積式㊙️或壓(ya)差式⭐的傳🍓統流量(liang)傳感器。
産品特點:
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傳(chuan)感器靈敏度高
,
有極小的始動(dong)流量
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傳感器(qì)芯片采用熱質量(liang)流量計量
,
無(wú)需溫度壓力補償(cháng)
,
保證了傳
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感器的高精度(du)計量
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在單個(gè)芯片上實現了多(duo)傳感器集成
,
使傳感器的量程(chéng)比大大提高
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傳感器的零點穩(wen)定度高
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全量(liang)程高穩定性
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全量程高精确度(du)和優良的重複性(xing)
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低功耗
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低壓損
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響應(ying)時間快
機械(xie)尺寸:
主(zhu)要參數:
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性能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複(fú)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiang)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性,RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工(gōng)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH(無結冰(bīng)、無凝露) |
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機械接口(kǒu) |
可拆式軟管接頭(tóu) |
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校準方式 |
空氣(或(huò)其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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