産品時間：2025-12-01
FS4001系列小(xiao)流量氣體質量(liang)流量傳感器是(shi)專門爲各類☔小(xiao)流量氣☁️體😍的測(ce)量和過程控制(zhì)而設計的。這一(yi)系🐪列傳感器均(jun1)采用本公司自(zì)主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來制作(zuò)，适用于各類清(qing)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使🔞之可用(yòng)于💰各類管徑，成(chéng)本低、易❌安裝、不(bu)需✏️要溫度壓力(li)補償，可替代容(rong)積式或壓♉差式(shi)的傳統流量傳(chuán)感器。
FS4001系列小流量氣(qi)體質量流量傳(chuán)感器 是專門爲(wèi)各類小流量氣(qi)體的測量和過(guò)程控制而❤️設計(ji)的。這一系列傳(chuan)感器均采用本(běn)公司自主研發(fa)📞的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片(pian)來制作，适用于(yu)各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lèi)管徑，成本📱低、易(yì)安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可(ke)替代容積式或(huò)壓差式的傳統(tong)流量傳感器。
FS4001系(xì)列小流量氣體(ti)質量流量傳感(gǎn)器
靈敏度高,有(you)小的始動流量(liàng)傳感器芯片采(cǎi)用熱質🌂量流量(liang)計量,無需溫度(dù)壓力補償,保證(zheng)了傳感器的高(gao)精度計量在單(dan)個芯片上實現(xian)了多傳感器集(jí)成,使傳感器的(de)量程比大大提(tí)高傳感器💞的零(líng)點穩定☎️度高全(quan)量程高穩定性(xing)全量程高精确(què)度和優良的🤩重(zhòng)複性低功耗低(dī)壓損響🤩應時間(jian)快
主要參數：
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FS4001 |
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1.0 |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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精 度 |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
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零點輸出(chu)飄移 |
±30 |
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±0.12 |
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工作(zuo)電源 |
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輸出方式(shi) |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
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大(da)工作壓力 |
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工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
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-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
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校準方(fang)式 |
空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
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機械(xiè)尺寸：
