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産品時(shí)間：2025-12-01
氣體(ti)檢測/測漏流量計(jì)傳感器靈敏度高(gao),有極小的始動流(liú)量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量計(jì)量,無需溫度壓力(lì)補償,保證了傳
- 感(gǎn)器的高精度計量(liàng)
- 在單個芯片上實(shí)現了多傳感器集(jí)成,使傳感器的量(liàng)程比大大提高
- 傳(chuan)感器的零點穩定(ding)度高 全量程高穩(wen)定性
氣體檢測/測漏流(liú)量計
産品簡介：
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shi)專門爲各類小流(liu)量氣體的測量和(hé)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gǎn)器均采用本📧公司(sī)自主研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量傳感(gan)芯片🐅來制作，适用(yong)于各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使之(zhi)可用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝、不(bu)需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shi)或壓差式的傳統(tong)👄流量傳感器🤞。
氣體(ti)檢測/測漏流量計(ji)産品特點：
- 傳感器(qì)靈敏度高,有極小(xiǎo)的始動流量
- 傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhi)量流量計量,無需(xu)溫度壓力補償🐪,保(bǎo)🔞證了傳
- 感器的高(gao)精度計量
- 在單個(gè)芯片上實現了多(duo)傳感器集成,使傳(chuán)感器的量程比大(dà)✔️大✊提高
- 傳感器的(de)零點穩定度高
- 全(quan)量程高穩定性
- 全(quan)量程高精确度和(hé)優良的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損
- 響應(ying)時間快
主要參數(shu)：
|
性能參數 |
FS4001 |
單位 |
|
|
1.0 |
1.8 |
mm |
|
|
zui大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程比(bi) |
2132132132131231312100:1 |
||
|
±（1.5+0.2FS） |
% |
||
|
重複性 |
0.25 |
%讀數(shu) |
|
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零點輸出飄移 |
±30 |
||
|
輸(shū)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸出方(fāng)式 |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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|
zui大流量壓損 |
pa |
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|
zui大工(gong)作壓力 |
0.5 |
MPa |
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|
工作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
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|
存儲溫度 |
oC |
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工作濕(shī)度 |
<95%RH（無結冰、無凝露(lu)） |
||
|
|
|||
|
校準方(fang)式 |
空氣（或其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa |
|
|
|
重量 |
15 |
g |
|
