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微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計

産(chǎn)品時間：2025-12-01

簡要描述(shu)：

微小氣體流量計(ji),MF4001氣體流量計是廣(guang)州迪川儀器儀表(biao)⛹🏻‍♀️有限公司專門爲(wèi)各類小流量氣體(ti)的測量和過程控(kong)制而設計💃🏻的。這💜一(yi)系列傳感器均采(cǎi)用本公司自主研(yan)發的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，适用于各類(lèi)清潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用于(yu)各類管徑，成本低(di)、易安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可替(ti)代📐容積式或壓差(cha)🌏式的傳統流量傳(chuan)感器。

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詳細介紹(shào)

微小氣體流量計(ji),MF4001氣體流量計

産品簡介：
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shì)廣州迪川儀器🌈儀(yí)表有限🌂公司專門(mén)爲各類小流量氣(qì)體的測量🔞和過程(cheng)控制而設計的。這(zhe)一系列傳感器均(jun)采用本公司自主(zhǔ)研發的微機電系(xì)統（ MEMS）流量傳感(gan)芯片來制作，适用(yòng)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術👣使之(zhi)可用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝、不(bu)需要溫度壓力補(bu)🆚償，可替代容積式(shi)或壓差式的傳統(tong)流量傳感器。
産品特點：微小氣(qì)體流量計,MF4001氣體流(liu)量計
- 傳感器(qi)靈敏度高 ,有(you)極小的始動流量(liàng)
- 傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)計量 ,無需溫(wen)度壓力補償 ,保證了傳
- 感(gan)器的高精度計量(liàng)
- 在單個芯片(pian)上實現了多傳感(gan)器集成 ,使傳(chuán)感器的量程比大(dà)大提高
- 傳感(gan)器的零點穩定度(dù)高
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全量(liang)程高精确度和優(you)良的重複性
- 低功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時間(jian)快
主要參數(shù)：

性能參數	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
zui大流量(liang)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	2132132132131231312100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhong)複性	0.25		%讀數
零點輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線性(xing)， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量壓損	350	300	pa
zui大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工(gōng)作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機(jī)械接口	可拆(chāi)式軟管接頭
校準方式	空(kōng)氣（或其他氣體）， 20oC， 101.325kPa
重量	15		g

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