流量測量技術之(zhi) 微小流量 的測量     
半(ban)導體制造業、生物(wu)工程、精細化工等(děng)的興起，使流量測(ce)量向低端延伸，小(xiǎo)流量計流量的要(yao)求在上世紀 80 ∽ 90 年代凸顯起(qǐ)來。何謂小流量 ? 業界尚無*的定(dìng)義和界限，小流量(liang)因應用領域而異(yì)是一個模糊的概(gai)念。管道小流量測(cè)量體現于管徑小(xiao)和流速低兩個層(céng)次，就流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚(shen)至 DN15 以下管徑(jing)流量測量稱之小(xiǎo)流量測量，通常其(qi)流量值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以下，流(liú)量儀表滿度流量(liang)時的流速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法(fa)
傳統小流量(liàng)測量技術節流差(cha)壓 ( 層流 ) 法、浮子法和容積(ji)法等有了的改進(jìn)，新測量技術如超(chāo)聲法、熱👅法、科裏奧(ao)利法等也有成效(xiao)地應于液體和氣(qi)體小流量測量♌。
2 、特點
微小(xiǎo)流量與一般流量(liàng)測量相比較，具有(yǒu)以下特點。
1) 雷(léi)諾數低
一般(ban)管道流動均爲紊(wěn)流流動，流量儀表(biao)也是針對紊流流(liú)動态設計的，而小(xiao)流量儀表因管徑(jìng)小常處于層流流(liú)動 ( 例如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層(ceng)流 / 紊流過渡(du)區流态流動，小流(liu)量測量受使用中(zhong)流體♋黏🥰度變化影(ying)響頗大。
2) 要用(yong)實際使用流體校(xiao)準
液體流量(liàng)儀表一般用水校(xiao)準，氣體用空氣校(xiào)準。若知道實👣際測(ce)量流體與校準流(liú)體間某些物性不(bu)同對示值有規律(lǜ)變化🔴時，中大管徑(jìng)流量儀表常以适(shì)當系數修正。但有(yǒu)些小流量儀表受(shou)黏度等流體物性(xing)影響大♈，須以實際(ji)使用流體🈲校準。所(suo)幸流量小，用實際(ji)使用流體校準難(nan)度不大，但在作有(yǒu)害性流體校準時(shi)應注意安全和環(huan)境污染。
3) 要求(qiú)測量時防止污染(ran)流體
若測量(liàng)潔淨氣體和純水(shuǐ)常不允許接觸流(liu)體的儀表零件材(cái)料析出離子，例如(ru)半導體制備中儀(yi)表不能用金屬和(he)玻璃制成，隻能用(yòng)塑料。流體中也不(bu)允😍許混入活動件(jiàn)的磨蝕塵粒。流量(liàng)儀表流通通道要(yao)盡可能簡單，不應(ying)有潴留 ( 指液(ye)體在體内不正常(chang)地聚集停留 ) 部位，防止潴留介(jiè)質變質。
4) 氣泡(pào)和塵埃附着的影(ying)響
因管徑小(xiao)黏性增加，液體中(zhong)微細氣泡易在管(guan)系流動過程中積(ji)聚變大，使測量時(shí)指示不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃附着(zhe)測量元件🍉也要影(ying)響測量值，例如浮(fú)子流量計的浮🤩子(zǐ)上沉🔞積有肉眼覺(jiào)察不出的附着層(ceng)也會影響示值。
5) 流量儀表品種(zhong)使用上受到一定(dìng)限制
在衆多(duō)測量原理流量儀(yi)表中，因各種原因(yin)小流量應🙇‍♀️用受🔴到(dào)一💋些限制，當前能(néng)應用于小流量的(de)品種如表格所示(shi)